产品优势

PRODUCT ADVANTAGES

厚度检测系统适用于原硅片、返工片；电阻率检测系统适用于原硅片

规格及工艺

硅片尺寸：156mm-230mm；厚度检测系统硅片厚度90-1000um；电阻率检测系统硅片厚度90-180um；

厚度检测系统采样率：1000FPS；电阻率检测系统采样率<=1ms ,采集数据>300点

产品明细

DETECT DEFECTS

检出缺陷

PRODUCT DETAILS

400-006-5266

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