随着光伏技术持续迭代，隧道氧化物钝化接触（TOPCon）成为当前最具工业化潜力的高效太阳能电池结构之一。在TOPCon电池结构中，一层超薄的氧化硅（SiOx）夹在硅基体与高度掺杂的Poly层之间，构成钝化接触层。而Poly层的厚度控制，正是影响整片电池转换效率的核心因素之一。

Poly层厚度与电池性能的关键关联

Poly层的主要作用是导电和选择性传输载流子，但它本身也会对光产生吸收。合适的Poly膜厚能在光学损失与电性能之间实现最优平衡。

如果膜层过厚，会增加自由载流子吸收，降低光子利用率；

如果膜层过薄，导电性能变差，接触电阻上升。

因此，控制Poly层的沉积厚度稳定性与均匀性，是TOPCon电池制造中的关键工艺之一。

膜厚对电池性能影响的实验分析

下图展示了Poly层厚度对电池性能的影响（包括复合电流密度和Voc）：

✅ 光学吸收损失：当Poly层位于正面时，每增加10nm，多晶硅吸收会引起短路电流密度下降约0.4 - 0.5 mA/cm²。

✅ 红外光吸收损耗：即使Poly层位于背面，厚度达到140nm时，红外吸收也会带来0.3 - 0.5 mA/cm²的Jsc损失。

由此可见，Poly层厚度直接决定了电池的光损与电学性能表现，厚度控制不当将严重制约电池转换效率的上限。

帝视在线Poly膜厚测试仪

针对TOPCon工艺中对膜厚控制的高要求，帝视科技推出的Poly膜厚在线测试仪，为光伏企业提供了专业的膜厚测量解决方案：

核心优势参数：

• 测量范围：20nm - 2000nm，适配从薄SiOx到较厚Poly层的测量需求

• 光源：钨卤素光源，覆盖300nm-1100nm，支持主流光伏膜系测量

• 检测方式：非接触式、无损检测，零碎片率

• 系统功能：支持实时膜厚图谱显示、数据追溯、统计分析，支持MES集成

设备可无缝集成至PECVD、LPCVD等沉积产线，实现对电池片上各位置Poly层厚度的连续监控，有效降低批次间不良率。

Poly层厚度是影响TOPCon电池性能的关键工艺参数，需在设计与制造阶段综合考虑其对光子吸收、短路电流密度、复合电流密度等指标的影响。

借助帝视科技在线Poly膜厚测试仪，企业可实现高精度、在线、非接触式的膜厚监控，有效提升TOPCon电池产品的一致性与转换效率，为大规模量产提供坚实支撑。