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厚度/电阻率检测系统
帝视科技厚度/电阻率检测系统，在线式测量硅片厚度、电阻率测试仪，采用涡电流法，上下各一个探头，重复精度高。
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产品优势

PRODUCT ADVANTAGES
适用硅片

厚度检测系统适用于原硅片、返工片；电阻率检测系统适用于原硅片
规格及工艺

硅片尺寸：156mm-230mm；厚度检测系统硅片厚度90-1000um； 电阻率检测系统硅片厚度90-180um；

信号采集

厚度检测系统采样率：1000FPS；电阻率检测系统采样率<=1ms ,采集数据>300点
 

产品明细

DETECT DEFECTS
 

检出缺陷

PRODUCT DETAILS
 

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